EBARA：A-10S；A25S ； A-30W；A-70W； A-20;A40;A-150W；50×20；80×25； 150×40；AA-40W；AA-70W COOLER更換及清洗；Trap更換及清洗。

  BOC EDWARDS：QDP40；QDP80；EH/QMB250； EH/QMB500； EH/QMB1200；IH80 ； IH600；IH1000；IH1800。

ALCATEL：OIL (2015；2021； 2033； 2063； 2100)

 DRY (81/122/501/602/1202);A100;ACP28/40

LEYBOLD：(WET PUMP）D1.6B；D16B/BCS； D25B/BCS； D40B/BCS；D65B/BCS； WAU/WSU251；WAU/WSU501